電子芯片潔凈車間建設(shè)要求

電子芯片潔凈車間是指在車間內(nèi)空氣中粒子濃度、微生物數(shù)量、溫濕度、氣流速度和氣壓等參數(shù)都在可控范圍內(nèi)，以滿足生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求的一種特殊工業(yè)建筑。博泰小編帶大家了解相關(guān)知識。

一、空調(diào)系統(tǒng)

空調(diào)系統(tǒng)是電子芯片潔凈車間的主要暖通設(shè)備，其作用是調(diào)節(jié)車間溫濕度和氣流速度等參數(shù)，保持車間潔凈度和舒適性。

二、裝修材料

在電子芯片潔凈車間的裝修材料選擇上，需要考慮到其對潔凈環(huán)境的影響，也要保證其具備抗靜電能力，建議選擇防靜電地板、墻面、天花板等材料。

三、純水系統(tǒng)

電子芯片潔凈車間生產(chǎn)過程中需要使用大量的純水，需要配置純水系統(tǒng)。純水系統(tǒng)應(yīng)該包括前置處理系統(tǒng)和純化系統(tǒng)，以確保供應(yīng)的純水能夠滿足車間生產(chǎn)的要求。

四、照明設(shè)計(jì)

在電子芯片潔凈車間的照明設(shè)計(jì)上，應(yīng)該選擇具備防靜電功能的照明設(shè)備。建議采用冷光源或LED燈管，以減少熱量的輻射和散熱還，需要考慮到照明的均勻性和亮度。

五、供氣系統(tǒng)

電子芯片潔凈車間生產(chǎn)過程中需要使用大量的氮?dú)?、氫氣等氣體，因此需要配置相應(yīng)的供氣系統(tǒng)。供氣系統(tǒng)應(yīng)該包括儲氣罐、氣體過濾、氣體干燥等設(shè)備，以確保供應(yīng)的氣體質(zhì)量和穩(wěn)定性。

六、廢氣廢水處理系統(tǒng)

在電子芯片潔凈車間的生產(chǎn)過程中，會產(chǎn)生大量廢氣和廢水，為了保證環(huán)境的潔凈和生態(tài)環(huán)保，必須配置相應(yīng)的廢氣廢水處理系統(tǒng)。廢氣處理系統(tǒng)主要包括排風(fēng)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，廢水處理系統(tǒng)主要包括污水收集、預(yù)處理和處理系統(tǒng)。